“不管是紫外光(EUV)光刻,还是浸入式技术,如果真能研发成功,就可以打破193nm这个瓶颈,我想对于芯片制造业是一个突破。”张如京还在给卫向东解释理由,哪里想到卫向东早就被这个词震惊得说不出话来。 ...